玻璃表面检测系统 GWI

晶圆

GWI 系统是为了在生产周期早期检测玻璃晶圆的缺陷。 该系统基于高分辨率智能相机，满足缺陷检测所需的准确性。 在智能相机中完成晶圆的完整评估。 拍摄玻璃晶圆的图片，并立即在相机中进行处理。 生成的数据和图像将传输到 PLC。 还有一个选项可以将显示器连接到照相机以查看屏幕上的结果。 要运行评估过程，可使用以太网、RS232和电源 I/O 连接。 电源 I/O 还包含 RS232 接口。 GWI 系统可检测玻璃晶圆的表面误差，如划痕、颗粒和基板误差。