螺杆真空泵 COBRA BC 1000 F Premium Efficiency

干式紧凑型

先进的螺丝设计： 钟形结构，获得专利的自平衡螺丝高 效：一 流的能源占地面积，低拥有成本，最少的维护，高正常运行时间 可靠 ：操作可靠灵活： 面向应用的 安静： 噪音水平 < 62 dB (A) 紧凑型设 计 COBRA BC 1000 F 优质效率是成熟的 COBRA BC 系列干式螺杆真空泵。 最先进的螺杆真空泵技术采用专门开发的螺杆型材，确立了新的效率标准，使这些真空泵成为负载锁定和转移室以及计量、光刻、物理蒸汽沉积 (PVD) 和等工艺中的理想解决方案。快速热退火（RTA）。 COBRA BC 高效系列采用最新的 Busch VacBoost 技术，通过与标准真空发生器相比降低 40% 的能耗，满足当今对最大限度节能和环境可持续性的需求。 智能待机模式以及各种灵活的闲置模式，提供额外的节能潜力。 高可靠性和最少的维护进一步降低了总拥有成本。 由于采用精密的钟形悬臂结构，带可变螺距螺钉的双转子仅安装在电机侧，而独特的 “飞行轴承” 设计使进气轴承不必要。 因此，泵送介质不会与轴承接触。 这确保了清洁的真空产生，并允许对泵送的气体进行全面回收。 入口和出口之间的直接气体通道可防止死亡空间，并确保压缩室内没有过程沉积物。