螺杆真空泵 COBRA BC 0100 F

干式紧凑型

COBRA BC 0100 F 是久经考验的干式螺杆真空泵，用于疏散负载锁定腔及光伏电池、平板显示器和半导体等其他苛刻的生产流程。 该真空泵在性能级别方面具有水冷却高效、泵速最高的特点，是所有要求高效、快速和稳定真空生成应用的理想之选。COBRA 真空泵采用的是无油和非接触式技术，能够抽空含颗粒的介质。 COBRA BC 0100 F 配备了高效电机，拥有待机模式，可以实现最佳节能潜力。 COBRA BC 0100 F 结构紧凑，需要空间小，极低的能源需求也将运营成本降到最低。 应用 高密度等离子体 CVD (HDP CVD) 快速热处理 (RTP) 次常压 CVD (SACVD) 金属有机 CVD (MOCVD) 等离子体增强 CVD (PECVD) 低压 CVD (LPCVD) 原子层沉积 (ALD) 负荷锁定应用 技术说明 技术说明 COBRA BC 0100 F 是一种单级双螺杆真空泵。泵缸内有两个螺杆转子旋转，密封并压缩泵介质，将其输送到出气口。在压缩过程中，螺杆转子之间不会互相接触或触碰泵缸，因此，压缩室内无需润滑剂和工作液。螺杆设计的最新开发功能是单面轴承，这种设计能够大幅降低能量消耗，预防压缩过程中气体温度过高。COBRA BC 0100 F 集成水冷系统作为标准配置，能使真空泵内温度分布均匀。