COBRA DS 0080 /0160 G
先进的螺杆设计高
效:
成本效益,最少的维护,高正常运行时间
灵活:
面向应用的
短处理时间:
由于高泵送速度
坚固耐用:
内部组件防腐涂层
紧凑型设计
COBRA DS 0080/0160 G 是成熟的 COBRA DS 系列干式螺杆真空泵。 COBRA DS 螺杆真空泵的高泵送速度,即使在需要高氢通量的条件下,也是光伏电池、平板屏幕和半导体生产中所有要求苛刻的工艺的理想选择。 最先进的 COBRA DS 螺杆真空泵技术允许粉末和颗粒填充的介质被抽出。
COBRA DS 干式螺杆真空泵具有干式压缩功能,特别开发的螺杆型材,以及不受阻碍的气体排放。 其结果是具有高度的蒸汽和颗粒耐受性。 螺丝采用单件式铸件制造,避免任何间隙,使工艺流体或颗粒不可能进入,从而防止腐蚀。
配备高效电机,COBRA DS 0080/0160 G 提供出色的能源效率。 由于维护要求低、运营成本低、正常运行时间高和寿命周期长,总拥有成本非常低,在这一性能等级中树立了标准。
由于采用原位安装设计,可以快速轻松地将这些螺杆真空泵改装到现有系统中。
应用
高密度等离子体 CVD (HDP-CVD)
快速热处理 (RTP)
亚大气 CVD (SACVD)
金属有机 CVD (MOCVD) 等
离子体增强 CVD (PECVD)
低压 CVD (LPCVD)
原子层沉积 (ALD)
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