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相对压力传感器 SE103 绝对硅MEMS
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产品规格型号
- 类型
- 相对, 绝对
- 技术
- 硅, MEMS
- 输出
- 模拟
- 安装类型
- 模腔
- 其他特性
- 精准
- 压力范围
最少: 2.5 bar
(36.26 psi)最多: 10 bar
(145.04 psi)- 精确度
0.15 %
- 长期稳定性
0.2 %
- 工艺温度
最少: -45 °C
(-49 °F)最多: 125 °C
(257 °F)
产品介绍
SE103 型压阻压力传感器芯片设计用于通用表压（相对）或绝压测量。传感器芯片采用 MEMS 技术，通过 6″ 硅基晶圆工艺制造。SE103 型的尺寸为 1.7mm x 1.7mm。
与 SE101 相比，SE103 的腔体结构与硅膜结合在一起，而不是受硅限制。这使得 SE103 的非线性误差更小，可以在没有限制的情况下用于量规或差分测量。
SE103 设计为无补偿传感器芯片，采用由 4 个焊盘组成的闭桥电路。
封装前，每个 SE103 传感器芯片都经过测试和检验。
有三种封装类型可供选择，以满足不同的市场需求。
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