SE102 型设计为压阻压力传感器模具。由于其设计,SE102 型具有高过载压力 (HOP),即高证明压力和高爆破压力。HOP 使传感器模具能够在应用中的任何瞬态过程中承受巨大的压力峰值。该压力传感器芯片采用 MEMS 技术,通过 6 英寸硅基晶圆工艺制造而成。压力膜片的独特设计使 SE102 既具有高灵敏度的输出信号,又具有超强的抗过载压力能力。
该型号专为绝对压力、表压或差压测量而设计。对于表压或差压基准,有两种结构可供选择。一种是硅对硅结构,即有硅约束,另一种是无硅约束。
作为一种非信号调节型传感器芯片,标准 SE102 采用开桥电路,有五个焊盘用于桥调节和温度补偿。
在包装之前,每个 SE102 传感器芯片都经过单独测试,并符合其规格要求。
有三种封装类型可供选择,以满足不同的市场需求。
---