台式电源

直流多输出

产品概述
为半导体制造中300mm晶圆的电化学抛光提供直流电源。OEM 6通道直流源，单一机箱内包含六个600W电源。自带控制器 — 预设后可独立运行。

主要特性

• OEM 6通道直流电源
• 单机包6台600W电源
• 自带控制器 — 预设后独立运行
• 支持斜坡（ramp）和序列控制
• 支持通道间依赖运行
• DeviceNet接口
• 固态极性切换

技术规格

• 通道数：6
• 每通道功率：600W
• 配置：单机包6个电源
• 控制：内置控制器，支持可编程序列和斜坡
• 通信：DeviceNet
• 极性切换：固态

应用

• 300mm晶圆的电化学抛光
• 薄膜处理与表面处理
• 半导体研发与生产线

接口与控制

• DeviceNet通信，以便与工厂自动化集成
• 可编程斜坡、序列与通道依赖设置以支持复杂工艺
• 固态极性切换，提供快速可靠的极性转换