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台式电源 直流多输出
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产品规格型号
- 安装方式 / 规格
- 台面式
- 种类
- 直流
- 输出
- 多输出
- 功率
600 W
产品介绍
产品概述
为半导体制造中300mm晶圆的电化学抛光提供直流电源。OEM 6通道直流源，单一机箱内包含六个600W电源。自带控制器 — 预设后可独立运行。
主要特性
技术规格
应用
接口与控制
为半导体制造中300mm晶圆的电化学抛光提供直流电源。OEM 6通道直流源，单一机箱内包含六个600W电源。自带控制器 — 预设后可独立运行。
主要特性
- OEM 6通道直流电源
- 单机包6台600W电源
- 自带控制器 — 预设后独立运行
- 支持斜坡（ramp）和序列控制
- 支持通道间依赖运行
- DeviceNet接口
- 固态极性切换
技术规格
- 通道数：6
- 每通道功率：600W
- 配置：单机包6个电源
- 控制：内置控制器，支持可编程序列和斜坡
- 通信：DeviceNet
- 极性切换：固态
应用
- 300mm晶圆的电化学抛光
- 薄膜处理与表面处理
- 半导体研发与生产线
接口与控制
- DeviceNet通信，以便与工厂自动化集成
- 可编程斜坡、序列与通道依赖设置以支持复杂工艺
- 固态极性切换，提供快速可靠的极性转换
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* 显示价格为参考价，此价格不含税、不含运费、不含关税，也不包含因安装或投入使用所产生的其他额外费用。参考价格可能因国家、原材料价格和汇率的不同而产生变化。