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PECVD等离子发生器TruPlasma DC Series 4000 (G2)

PECVD等离子发生器

TruPlasma DC Series 4000 (G2)

... ) 系列为困难材料的反应性直流溅射设计，属于脉冲式直流电源。设备支持脉冲模式与偏压模式两种工作方式，在对涂层质量和产能要求极高的 PVD / PECVD 工艺中提供稳定的等离子体性能，降低电弧导致的停机并减小基板损伤。

标语
脉冲工艺，实现光亮表面

主要特性

数字信号处理，实现稳定的等离子体控制并将电弧相关的时间损失降到最低。
快速电弧处理，低电弧能量以减少基板损伤和表面缺陷。
宽泛且可调的脉冲频率范围及可调反向

...

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