STEINMEYER显微镜位移台

运行行程: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm

... LA92 高速 UHV 线性轴 应用：高分辨率和快速扫描应用 优点在 UHV 中快速定位，也可垂直定位 特点高分辨率、超薄、内置电机 - 真空：所有区域 HV / UHV，最高 10E-11 mbar - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：液态最高 10E-8 / 干态最高 10E-11 mbar - 最高烘烤温度： 120°C120°C 可选项： - 根据应用选择材料和真空润滑 - 可与 XYZ 传送系统（如 LA90、LA95、LA170）结合使用 - ...

运行行程: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm

... KT105-50 高分辨率 XY 平台 应用：真空 XY 平台 优点： 快速、高分辨率 特点：偏航和俯仰参数比带孔径的型号高三倍 - 真空：所有 HV / UHV 区域，最高 10-11 毫巴 - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：液态最高 10-8 / 干态最高 10-11 毫巴 - 最高烘烤温度： 120°C120°C 可选项 - 有孔和无孔 - 提供磁性、低磁性和无磁性型号 - 不同的电机类型：纳米电机或压电电机 - 可与 XYZ ...

运行行程: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm

... KDT300 稳定的高负载 xy 平台 应用：传送平台，高负载扫描平台 优点：- 尽管使用干润滑油，但使用寿命长 特点：尽管使用干润滑油，但使用寿命长 - 真空：所有 HV / UHV / EUV 范围，最高 10E-11 - 润滑液：最高 10E-11 - 孔径：80 x 80 毫米 - 最大烘烤温度：120°C 可选项 - 带或不带测量系统 - 可选配控制器 FMC400/450 - 行程达 80 毫米，载荷达 10 公斤 - 可选配导螺杆驱动装置或润滑滚珠螺杆驱动装置，以获得更高的速度 - ...

运行行程: 5 mm - 50 mm

... - 用于工业、研究和开发领域的应用 - 用于光学器件、精密工件或其他测试对象的准确定位和调整 技术数据 - 承重能力15 - 50 N - 行程范围 5 -50 mm - 重复性

运行行程: 5 mm - 40 mm

... - 用于工业、研究和开发领域的应用 - 用于光学器件、精密工件或其他测试对象的准确定位和调整 技术数据 - 承重能力 50 - 200 N - 行程范围40毫米 - 微米分辨率 10 µm - 用测微计进行微调 15 mm - 高度57.5毫米 优点 - 粗略定位的快速调整 - 通过侧面安装的测微头进行精细调整，行程为15毫米 - 精密滚珠轴承 - 硬化的棱镜条 - 由坚固的钢制成 - 有T型槽，便于安装测试件 - 可作为测光台使用 - 可提供定制的孔洞 应用 - ...

运行行程: 1 mm - 16 mm

... - 用于工业、研究和开发领域的应用 - 用于光学器件、精密工件或其他测试对象的准确定位和调整 技术数据 - 承重能力最大。50 N - 行程范围16毫米 - 分辨率 0,1 µm 优点 - 可选择组合多个元件用于多轴定位系统 - 可适应不同的环境条件（如真空）。 - 可单独选择驱动装置 - 可提供定制的孔洞 - 可提供非磁性设计 - 可选择由坚固的钢或轻质铝制成 - 由于升降楔子原理，高度低 - 在相对较高的负载下，增量小 应用 - 应用于工业、研究和开发领域 - ...

运行行程: 1 mm - 8 mm

... - 用于工业、研究和开发领域的应用 - 用于光学器件、精密工件或其他测试对象的准确定位和调整 技术数据 - 角度误差≤100 °。 - 负载能力 200 N - 行程范围 8 mm - 微米分辨率 10 µm - 总尺寸（宽x深）120 x 100 mm - 高度73 - 81毫米 优点 - Z轴上的线性调节器 - 高重复精度 - 设计紧凑 - 易于安装 - 由铝制成，比钢轻40%。 - 标准型底板有4个锚点 - 可定制孔位 - 定位精度0.012毫米 应用范围 - ...

载荷: 1 kg - 12 kg

... DT310 带大孔径的平面旋转平台 高精度旋转平台采用平面设计，加工精度极高，应用范围广泛。由于具有大孔径，它特别适用于检测和医疗行业的任务。 - 普遍适用于大孔径应用领域 - 行程范围不受限制 - 负载能力高达 120 N - 重复精度高达 0.004 µrad - 可选配步进电机或带电机编码器和各种测量系统分辨率的交流伺服电机 测量系统分辨率 应用领域 普遍应用，如微型计量、医疗行业、样品检测、精密微型装配、光子学和光学、研发、实验物理 技术数据 - ...

运行行程: 1 mm - 80 mm
速度: 1 mm/s - 60 mm/s
重复精度: 0.7 µm - 5 µm

... 可轻松叠加到紧凑型多轴系统中 选项 - 可配备直流电机或步进电机 - 三轴紧凑型装置：MP130-3 - 可与 DT130 旋转平台组合使用 - 不锈钢选件，可提高刚性 - 适用于无尘室、真空和 EUV 的型号 应用领域 在狭小空间内定位，如相机、显微镜（AFM、WLI）、最小空间 XYZ 多轴系统设置、工业和研究用机械手、紧凑型无尘室定位系统、晶圆检测、晶圆检测机校准 技术数据： - 行程：50 毫米、80 毫米 - ...