STEINMEYER适用真空位移台

运行行程: 1 mm - 40 mm
速度: 1 mm/s - 200 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm

... UHV 线性轴 应用：高分辨率和快速扫描应用 优点在 UHV 中快速定位，也可垂直定位 特点高分辨率、超薄、内置电机 - 真空：所有区域 HV / UHV，最高 10E-11 mbar - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：液态最高 10E-8 / 干态最高 10E-11 mbar - 最高烘烤温度： 120°C120°C 可选项： - 根据应用选择材料和真空润滑 - 可与 XYZ ...

运行行程: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm

... 高负载扫描平台 优点：干式润滑，使用寿命长 特点：带干润滑油的导螺杆或带液体压电制动器的滚珠螺杆，具有 nm 级稳定性 - 真空：所有范围的 HV / UHV / EUV，最高可达 10E-11 mbar - 磁性：磁性 - 润滑：液体润滑，最高 10E-8 / 干式润滑，最高 10E-11 毫巴 - 最高烘烤温度120°C 可选项 - 可提供压电断路 - 根据应用选择材料和真空润滑 - ...

运行行程: 1 mm - 300 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.015 µm - 5 µm

... 也可垂直定位 特点： 定位分辨率极高，刚性最强，可配备 2 个（或 4 个）电机 - 真空：所有压力范围 HV / UHV，低至 10E-11 mbar - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：低至 10E-8 的液体润滑 / 低至 10E-11 毫巴的干润滑 - 最高烘烤温度120°C 选购件 - 提供磁性、低磁性和无磁性型号 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据室内安装情况进行个性化调整 - ...

运行行程: 1 mm - 185 mm
速度: 1 mm/s - 8.4 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm

... LA95 - 应用：传送阶段、扫描阶段 - 优点：干式润滑，使用寿命长 - 特点： 使用干润滑油的导螺杆或 带液体润滑油的滚珠丝杠 - 真空：所有压力范围 HV / UHV，低至 10E-9 mbar - 磁性：磁性 - 润滑：低至 10E-8 的液体润滑/低至 10E-11 毫巴的干润滑 - 最高烘烤温度120°C 技术数据 - 行程：40 毫米、80 毫米、185 毫米 - 重复精度 ...

运行行程: 1 mm - 10 mm
速度: 0.2 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.2 µm - 5 µm

... MT53 高分辨率微型平台 应用：多用途微型平台 优点：用于高分辨率扫描 特点：高分辨率定位 - 真空：所有压力范围 HV /UHV 低至 10E-11 毫巴 - 润滑：液体润滑低至 10E-8mbar / 干润滑低至 10E-11mbar - 磁性：磁性 - 最高烘烤温度120°C 可选项： - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据箱体内的安装情况进行个性化调整 - ...

运行行程: 1 mm - 50 mm
速度: 1 mm/s - 50 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm

... KT105-50 高分辨率 XY 平台 应用：真空 XY 平台 优点： 快速、高分辨率 特点：偏航和俯仰参数比带孔径的型号高三倍 - 真空：所有 HV / UHV 区域，最高 10-11 毫巴 - 磁性：磁性 | 低磁性 | 无磁性 - 润滑：液态最高 10-8 / 干态最高 10-11 毫巴 - 最高烘烤温度： 120°C120°C 可选项 - 有孔和无孔 - 提供磁性、低磁性和无磁性型号 - ...

运行行程: 1 mm - 100 mm
速度: 1 mm/s - 10 mm/s
重复精度: 0.4 µm - 5 µm

... 尽管使用干润滑油，但使用寿命长 - 真空：所有 HV / UHV / EUV 范围，最高 10E-11 - 润滑液：最高 10E-11 - 孔径：80 x 80 毫米 - 最大烘烤温度：120°C 可选项 - 带或不带测量系统 - 可选配控制器 FMC400/450 - 行程达 80 毫米，载荷达 10 公斤 - 可选配导螺杆驱动装置或润滑滚珠螺杆驱动装置，以获得更高的速度 - 可与旋转工作台（如 DT155）组合，用于旋转应用 - ...

运行行程: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 2.2 mm/s
重复精度: 1 µm - 5 µm

... HT160 精密高负载垂直升降台 应用：真空升降台 优点：高刚性、高负载 特点：带滚珠丝杠主轴的楔形 - 真空：所有范围 HV / UHV / EUV，最高 10E-11 mbar - 液体润滑高达 10E-8 / 干式润滑高达 10E-11 mbar - 可提供磁性型号 - 最大烘烤温度120°C 选项 - 根据应用选择材料和真空润滑 - 根据室内安装情况进行个性化调整 - ...

运行行程: 1 mm - 16 mm
速度: 1 mm/s - 16.6 mm/s
重复精度: 0.7 µm - 5 µm

... HDT255 高负载孔径升降台 应用：真空升降台 优点：- 高刚度、高负载、开孔 特点：带孔的楔形平台 - 真空：所有范围 HV / UHV / EUV，最高 10E-11 毫巴 - 液体润滑，最高 10E-8 / 干式润滑，最高 10E-11 mbar - 磁性：磁性 - 最大烘烤温度120°C 选项 - 带孔径或不带孔径 - 不同的行程 - 可选择带或不带测量系统 - 适用于 ...

运行行程: 1 mm - 25 mm
速度: 1 mm/s - 3.4 mm/s
重复精度: 0.3 µm - 5 µm

... HT240 精密高负载垂直升降平台 应用：真空升降台真空升降台 优点：高刚性、高负载 特点：带滚珠丝杠主轴的楔形 - 真空：所有范围 HV / UHV / EUV，最高 10-11 毫巴 - 液体润滑高达 10-8 / 干式润滑高达 10-11 毫巴 - 磁性：磁性 - 最大烘烤温度120°C 可选项 - 根据应用选择材料和真空润滑 - ...