Physik Instrumente/德国PIZ轴位移台

运行行程: 50 µm - 240 µm
重复精度: 5, 10 nm

... 大孔径的高动态性能 - 平行运动学，响应时间更快，多 轴精度更高 - 零间隙、高精度的挠性导轨系统 - PICMA®压电推杆带来的出色使用寿命 - 清晰的孔径66毫米×66毫米 - 由于电容式传感器而具有最高的线性度 - 计量学 - 干涉测量 - 光子学/集成光学 - 光刻技术 - 纳米定位 - 扫描显微镜 - 样品对准 - 微机械加工 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 ...

运行行程: 100, 400, 800 µm
重复精度: 50, 10 nm

... - 与电动驱动器相比，响应速度更快，使用寿命更长 - 以亚纳米分辨率实现物镜的精细定位 - 使用电容式传感器直接测量位置最高线性度 - 直径为 29 毫米的大光圈 应用领域 - 三维成像 - 筛选 - 干涉测量 - 测量技术 - 自动对焦系统 - 生物技术 - 半导体检测 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 10 倍。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 电容式传感器的亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，无需接触。电容式传感器可确保出色的线性运动、长期稳定性以及千赫兹范围内的带宽。 零间隙挠性导轨实现高导向精度 挠性导轨无需维护、摩擦和磨损，也无需润滑。它们的刚度允许高负载能力，对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。 ...

运行行程: 100, 200 µm

... - 步进和平稳时间为 5 毫秒 - 总高度仅为 20 毫米，易于集成 - 净空孔径 93 毫米 × 65 毫米 - E-709 数字压电伺服控制器在供货范围内 - USB、RS-232 和模拟接口 产品描述 应用领域 超分辨显微镜 光盘显微镜 共焦显微镜 三维成像 筛选 干涉测量 测量技术 自动对焦系统 生物技术 半导体测试 PICMA® 压电致动器的超长使用寿命 PICMA® 压电执行器采用全陶瓷绝缘。这可防止潮湿和漏电流增加导致的故障。PICMA® 执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的 ...

... 。经证实，1,000 亿次循环无一故障。 零间隙挠性导轨实现高导向精度 挠性导轨免维护、无摩擦、无磨损、无需润滑。其刚度大，承载能力强，对冲击和振动不敏感。工作温度范围广。 通过平行运动学实现高动态多 轴运行 在并联运动学多 轴系统中，所有执行器都作用在一个共同的平台上。最小的质量惯性和所有 轴的相同设计实现了快速、动态和高精度运动。 用于调整反射镜和平台 CTE 的材料选项 建议使用以下材料组合来调整热膨胀系数： ...

重复精度: 1 µm
载荷: 4 kg

... 该平台占地面积小，但精度极高。非接触式组件的组合实现了无摩擦运动，具有出色的动态性能、纳米级定位精度和超长的使用寿命。 为建立 XYZ 系统，A-143 提供垂直安装选项，包括制动器和平衡器。 附件和选件 PIglide 过滤器和空气准备套件 单 轴和多 轴运动控制器 带制动器和气动平衡的型号，用于垂直安装 应用领域 该平台非常适合许多高精度和高动态应用，如计量、检测、光纤定位、光学定位、扫描和图案化。线性平台采用非接触式设计，无需润滑，电缆连接牢固，是洁净室和医疗技术应用的理想之选。 ...

运行行程: 5, 2.5 mm
速度: 200 mm/s
重复精度: 0.25 mm

... A-523 是带直接驱动的空气轴承 Z 尖端/倾斜平台。该平台设计为平行运动多 轴系统，可用于 Z 和尖端/倾斜运动。该平台采用微型结构，具有超高精度。非接触式组件的组合造就了一个无摩擦运动平台，具有一流的性能、质量和使用寿命。 在订购 A-523 和 A-81x 或 A-82x 系列控制器的同时，PI 还会对 Z 平台进行配置和布线，并在施加负载的情况下进行伺服调整优化。您将获得一个完整的、随时可用的定位系统。 附件和选件 空气过滤器套件 应用领域 Z ...