Physik Instrumente/德国PI单轴位移台

运行行程: 50 µm - 240 µm
重复精度: 5, 10 nm

... 大孔径的高动态性能 - 平行运动学，响应时间更快，多 轴精度更高 - 零间隙、高精度的挠性导轨系统 - PICMA®压电推杆带来的出色使用寿命 - 清晰的孔径66毫米×66毫米 - 由于电容式传感器而具有最高的线性度 - 计量学 - 干涉测量 - 光子学/集成光学 - 光刻技术 - 纳米定位 - 扫描显微镜 - 样品对准 - 微机械加工 电容式传感器的亚纳米级分辨率 电容式传感器以亚纳米的分辨率进行测量，无需接触。它们保证了出色的运动线性度、长期稳定性和kHz范围内的带宽。 自动配置和快速组件交换 ...

运行行程: 22 mm
速度: 0.2 m/s
重复精度: 0.2 µm

... 自锁定，静止时不发热 - 低噪音运行 精密级线性定位平台 PILine® 平台特别适用于需要快速精确定位的应用场合。关闭时，自锁驱动装置使平台位置保持机械稳定。因此大大降低了能耗和发热量。电池供电的低占空比应用或对热敏感的应用都能从这些特性中受益。 轴的位置由编码器和光学基准开关测量，可实现可靠的重复运动。压电电机的驱动原理及其电气操作成本低廉，并且可以定制。 PILine® 超声波压电电机 PILine® 超声波压电电机的一个组成部分是一个压电致动器，该致动器通过一个耦合元件预载到一个可移动的导轨流道上 ...

运行行程: 26, 13 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 100, 200 nm

... - 宽度仅为 45 毫米 - 驱动力 7 N - 位置分辨率为纳米的增量式传感器 - 可进行 XY 组合，无需转接板 压电惯性驱动 压电惯性驱动装置是一种节省空间、经济实惠的压电驱动装置，具有相对较高的保持力和几乎无限的行程范围。惯性驱动原理基于单个压电致动器，该致动器由专用驱动电子装置提供的改良锯齿电压控制。致动器缓慢膨胀并移动转轮。由于其惯性，转轮无法跟随致动器随后的快速收缩而保持在原位。驱动装置的工作频率高达 20 kHz，直接作用于转轮，速度最高可达 8 mm/s。8 mm/s。 直接测量原理 直线运动平台配有非接触式直线光栅尺和基准开关。分辨率为 ...

运行行程: 25 mm
速度: 0.02 m/s
重复精度: 0.15, 0.2, 1 µm

... - 集成线性编码器，可实现最高精度，分辨率为 0.1 µm - 最小增量运动 0.2 µm - 循环滚珠丝杠提供高速度和长使用寿命 利用增量式线性编码器进行高精度位置测量 非接触式直线光栅可直接在平台上测量位置，精度最高。非线性、机械间隙或弹性变形对测量没有影响。 应用领域 光学对准。精密自动化 ...

运行行程: 304, 102, 610, 407, 204 mm
速度: 300, 100 mm/s
重复精度: 5 µm

... 步进电机或伺服电机 采用折叠式传动系统，设计紧凑 垂直安装的机型配有固定制动器 功能强大的线性平台，适用于要求苛刻的工业应用场合 精密滚珠丝杠、高性能步进电机或同步伺服电机、重型循环滚珠轴承和精密旋转编码器可在高负载条件下持续可靠地运行。可选的抱闸可用作 Z 轴。滚珠丝杠可从外部重新润滑，无需拆卸，确保了高可靠性和长使用寿命。 领先的设计 L-812 系列的循环滚珠轴承导轨具有高承载能力和高动态性能。电机的高分辨率提高了跟踪性能，减小了跟踪误差，加快了稳定时间。 同步伺服电机 这些电机在较大的转速范围内具有高定位精度和高过载能力 ...

... 真空兼容度高达 10-7 hPa 无限行程范围 重复性达 87 µrad 20 毫米直径孔径 基准开关 标准级旋转平台 蜗杆驱动。孔径 20 毫米。 减少排气，尤其适合在真空环境中使用 最值得注意的是，在导轨和主轴的润滑方面，使用了放气量特别低的材料。因此，烘烤温度最高可达 80°C。 用于高真空环境的更高质量 在这种情况下，需要使用适用于高真空的特殊部件，如电机、测量系统和限位开关。此外，表面由未涂层的铝制成，主轴和导轨由不锈钢制成。这样就达到了 PI V7 真空等级，即高达 10-7 ...