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... -2061 是一款基于
NDIR 的 WF6
气体
传感器，专用于钨 CVD（WCVD）腔室清洗过程的实时端点检测。可在工艺条件下对 WF6 浓度进行高灵敏度且稳定的测量，实时指示清洗结束，帮助缩短清洗时间、减少过度清洗用气并降低腔体磨损。
Gasboard-2061 采用紧凑模块化设计，便于安装。支持模拟和数字接口，支持校准与参数调整，便于集成到工艺控制系统中维护管理。
特性
- 针对
Cubic Instruments (Wuhan) Ltd.
... 是一款高性能 SiF4
气体
传感器，专为硅基 CVD 沉积腔室的实时腔室清洗终点检测（EPD）设计。基于非分散
红外（
NDIR）技术并配备专门设计的气室，可在半导体腔室清洗过程中对 SiF4 浓度进行高选择性和高精度检测。Gasboard-2060 实时监测 SiF4 浓度，能够快速且精确地指示清洗终点，从而减少清洗时间和
气体消耗，同时降低腔室磨损并延长部件使用寿命。模块化设计便于安装，并支持校准和调节功能，便于集成与维护。
特性
- NDIR
Cubic Instruments (Wuhan) Ltd.
测量范围(ppm): 0 unit - 20,000 unit
测量范围(%): 0 % - 20 %
... li>集成 NDIR 气体测试台，可同时测量 CO、CO2 与 HC。
规格
检测原理： NDIR（非分散 红外）
测量 气体：HC（正己烷）、CO、CO2（O2 ...
Cubic Instruments (Wuhan) Ltd.
测量范围(ppm): 0 unit - 5,000 unit
... 说明 微流 NDIR气凳采用自主知识产权和国际PCT专利（PCT / CN2018100767）双室 传感器技术。气室由被测气室和参比气室组成。 Gasboard‐2105采用双腔结构和特殊过滤器，可解决环境温度不稳定和电子组件老化的问题。它具有更高的精度，稳定性和抗干扰性，适用于低范围工业过程排放检测和环境监测。 产品特点 1. SO2，NO，CO至200ppm的超低范围检测。 2.独特的双光束气室设计，测量精度高。 3.几乎不受外部环境温度和电压波动的影响。 4.完全替代西门子U23 ...
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... Cubic易 燃气模块Gasboard-2108系列适用于汽车尾气排放监测和环境监测，符合GB 18285-2018的汽油车排放测量标准。 采用具有自主知识产权的高精度双光束 红外 气体分析技术测量CO，CO2和HC的浓度，并采用国际PCT专利（PCT / CN2018100767）微流 红外双 气体室技术进行测量Gasboard-2108在NO浓度高的情况下具有良好的抗干扰性和高精度性能。 红外双气室技术是一种先进的测量方法。测得的 气体和参考 气体位于两个单独的腔室中。当 红外光源分别照射被测 气体和参比气体时 ...
Cubic Instruments (Wuhan) Ltd.
... 描述 Gasboard-2000系列 NDIR 气体工作台是专为车辆排放 气体测量而设计的，它采用了高精度双光束非分散 红外（ NDIR） 气体分析技术来测量每种 气体的光吸收率，然后获得浓度读数。它符合最新的国家标准GB 18285以及国际标准ISO 3930或OIML R99 ...
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... 介绍： Gasboard-2102衍生自Gasboard-2000系列，具有微流 NDIR 气体工作台的相同优势，但专注于低浓度NO检测，这是一种紧凑型设计的高精度 NDIR NO 气体工作台，非常适合 气体分析仪制造商 最低检测浓度可达到0〜200 ppm 特征： •先进的微流量 NDIR工作原理，用于低范围NO检测 •双腔高精度 •模块化设计，易于集成 •自动温度和压力补偿 规范： 测量：无 NO：0〜200〜5000ppm 测量范围可定制 线性误差：<±2％FS 重复性： ...
Cubic Instruments (Wuhan) Ltd.
... 介绍： Gasboard-2101是采用Cubic-Ruiyi专利微流 NDIR技术的CO 气体工作台，它来自Gasboard-2000系列，具有相同的优势，但只专注于低浓度CO检测。 它是一种紧凑，高精度的 NDIR CO 气体工作台，可检测0〜200ppm的低量程，非常适合 气体分析仪制造商进行集成。 应用： 机动车尾气排放测试 大气/废气环境测试 规范： 尺寸：CO CO：0〜200〜1000〜10000ppm 测量范围可定制 线性误差：<±2％FS 重复性：≤2％FS ...
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... 介绍： Gasboard-2100系列微流 NDIR 气体工作台采用自主知识产权和国际PCT专利（PCT / CN2018100767）双室 传感器技术。气室由被测气室和参比气室组成。当 红外光源照射到被测 气体和参比 气体时，由微流量 传感器形成的信号波形通过信号处理系统以对被测 气体浓度进行计数。 ...
Cubic Instruments (Wuhan) Ltd.
... 介绍： 我们的Gasboard-2201 NOx工作台基于高精度紫外差分吸收光谱 气体分析原理（UV-DOAS），采用闪烁的氙气灯作为光源。当光在被测 气体中透射时，由 气体中每个分子在不同谱带中产生的差分吸收特性的强度可用于得出 气体浓度和类型。基于特殊的设计和独特的算法，长路径多次返回气室，NOx台式检测器可以获得强大的吸收信号以支持高灵敏度。具有使用寿命长，稳定性好等优点，可以准确测量发动机废气中NO，NO2的浓度，符合国家标准GB ...
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... 对环境条件的监测可减少对环境的有害影响，最大限度地提高能源效率，包括工业环境中的 气体排放和可再生能源系统中的工艺流程。 测量精度 我们的近 红外 气体 传感器可精确测量甲烷和其他碳氢化合物。通过 10 点线性化， 气体浓度读数在整个测量范围内的最大偏差小于百分之一，最高可达 10 vol.-%。 该 传感器能可靠地检测到最低 气体浓度，从而识别混合 气体中最微小的变化。您可以在整个测量范围（0 ...
... 、保护或绝缘 气体。由于六氟化硫具有很强的温室效应，因此对这种 气体进行负责任的处理就显得尤为重要。MicroFLOW SF6.100 Vol.-% 传感器适用于要求精确可靠的各种苛刻应用。 应用领域 工业：SF6 用于等离子蚀刻工艺，在硅、二氧化硅和其他化合物等半导体材料上形成精确的图案。在特殊的蚀刻室中使用这种 气体，通过施加高频能量将其转化为等离子体。然后，等离子体与材料发生选择性反应，在非常受控和精确的过程中实现材料的精确雕刻或去除。 在铝的生产过程中，六氟化硫被用作一种示踪 气体，以提高生产过程的效率 ...
... 这些传感器几乎可以提供即时的结果。随着时间的推移，技术使二氧化碳 传感器的尺寸缩小，使其更加紧凑，便于在许多不同行业中使用。 NDIR（非色散 红外）二氧化碳检测器的工作原理是二氧化碳吸收特定波长的 红外光，因此它很容易与其他 气体区分开来（许多常见的检测 气体都有独特的 红外波长的吸收波长）。 光源发出的 红外光穿过空气样品进入的样品室。一个 红外 传感器被放置在室的另一侧， 传感器前面有一个光学过滤器，所以只有所需的波长被检测到。随着更多的二氧化碳 气体分子进入样品室，吸收光线， 传感器检测到的 红外光就会减少。 ...