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... MV-2000 系列采用新的螺旋流加热方法，即使在低温下也能实现稳定汽化。适用于包含 “High-k”工艺液体在内的一系列液体源的汽化。 使用螺旋流加热方法实现稳定的低温汽化 大流量汽化（增加稳定性数据） 可汽化易热解的液体源 ...
HORIBA STEC
... HORIBA 销量人气的加热汽化系统为满足目前高科技工业的需求而开发。该系统可在无需载气的情况下进行稳定的材料汽化，例如 TEOS（流量 600 SCCM）和 H2O（流量 2 SLM）。为方便操作，所有设备维护都可以在设备前端进行。 大流量气化 LSC-A100 提供 TEOS 600SCCM 和 H2O 2SLM 等材料的稳定气化 所有设备维护都可以在设备前端进行 可选掌上型 PDA 用于监控 LSC 的运行状态，并记录和分析运行日志 ...
HORIBA STEC
... VC 系列能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源，组建更紧凑的汽化系统。 HORIBA 可为您提供由 VC 系列和您需要的所有其他组件组成的定制汽化系统： 一种用于流量测量的液体质量流量计 一种用于蒸气流量测量的高温质量流量控制器 阀门、过滤器、加热器等 VC 系列能够在无载气的情况下快速汽化纯水或其他液体源，组建更紧凑的汽化系统。 HORIBA 可为您提供由 VC 系列和您需要的所有其他组件组成的定制汽化系统： 一种用于流量测量的液体质量流量计 ...
HORIBA STEC
... LU 系列以不间断、安全和可靠的方式将液态化学品输送至液体材料烘烤系统和注入系统。这增加了正常运行时间，减少了操作人员手动操作和制程污染的风险。 LU 系列提供自动执行残余液体清洗程序的功能。 使用 LU 系列提高了供液能力和保养效率。 蒸汽压力监视功能作为标准配置，可在更换母罐期间检查吹扫效率 可选配称重传感器，监视母罐中残余液体总量 LU-A1000 系列设计紧凑，采用集成气体系统，与传统配件相比，可显著减小尺寸 日常维护时轻松更换部件 脱气器模块为标准配置，可降低液体鼓泡风险，适用于各种汽化系统，包括注入和烘烤应用 ...
HORIBA STEC
... 该混合注入系统可通过使用气液混合物汽化方法快速汽化各种液体源。该方法可实现高沸点液体的稳定汽化。 气液混合物汽化方法确保稳定地汽化高沸点液体 紧凑设计便于集成 汽化效率高于传统汽化方法 产生更大流量 汽化温度降低 测量技术 注入方式 以下是汽化液体源并将其输送到处理室的主要步骤。 1. 测量液体源的流量，并通过阀门反馈和控制液体量。 2. 液体瞬间汽化。 3. 气体被释放，防止凝结成液态。 由于载气在注入器内部喷嘴前的压力较高，因此可以获得有效加热。液体源和加热的载气在喷嘴前的气液混合区混合在一起，当混合物通过喷嘴时，压力降低，混合物进而汽化。 ...
HORIBA STEC
... 金属有机化学气相沉积（MOCVD）工艺广泛应用于发光二极管、光学器件和其他组建的制造。通过控制温度、压力和载气流速（鼓泡法），液体和固体化学品被输送到反应室。IR-300 系列可实时测量和报告化学品浓度，为用户带来以下优势： 优化制程控制，生产更多高级器件 提高器件成品率并减少废料 提高再现性 了解何时需要更换鼓泡器 延长 MTTA 减少非计划干预 减少高价值的化学品浪费 实时监测 快速响应和出色的重复性允许实时跟踪蒸汽浓度的变化 ...
HORIBA STEC