热量蒸发器 LSC series

加工液体

HORIBA最畅销的烘烤系统是为了满足当今高科技产业的要求而开发的。在不需要载气的情况下，该系统可以提供稳定的气化材料，如TEOS（速率为600 SCCM）和H2O（速率为2 SLM）。为了便于使用，所有的设备维护都可以从设备的前面进行。 特点 高流速气化 LSC-A100提供稳定的气化材料，如TEOS 600SCCM和H2O 2SLM。 所有的设备维护都可以在设备的前面进行 可选的PocketPC型PDA可用于监测LSC的运行状况，并记录和分析运行日志。