气体蒸发器 IR-300

蒸发浓缩

金属有机化学气相沉积（MOCVD）工艺被广泛用于LED、光学设备和其他部件的制造。通过控制温度、压力和载气流速（鼓泡法）将液体和固体前体输送到反应室。在线IR-300系列实时测量和报告前体浓度，给用户带来以下好处： 优化工艺控制，生产更多的高等级器件 提高器件产量，减少废品 提高可重复性 知道什么时候需要更换起泡器 延长MTTA 减少计划外的干预措施 减少宝贵的前驱体浪费 实时监测 快速的反应和出色的重复性，可以实时跟踪蒸汽浓度的变化 多校准曲线功能（可选） 允许对多达3种化学品或范围进行浓度测量 多重显示功能 IR-300装置顶部的多显示功能为用户提供了浓度监测和前体供应线状态的现场检查能力。 通讯功能 通过DeviceNet™、RS485和模拟通信进行连接 简单、紧凑的设计 该设备的正面尺寸为124毫米，结构紧凑，无需安装方向，易于集成。