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... 100高精度 粗糙度 轮廓 测量仪是一款集成表面 粗糙度和 轮廓 测量的 测量仪器；采用超高精度衍射光学 测量系统、超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能伺服驱动电机、高性能计算机控制系统技术，实现对工件表面 粗糙度和 轮廓进行高精度 测量和分析。通过超高直线度研磨级摩擦导轨、高性能伺服驱动电机保证 测量的超高稳定性及直线度，采用超高精度定制进口光学 测量系统建立工件表面 轮廓的二维坐标，计算机采用超高精度的标定系统通过修正算法对采样数据进行修正，最终还原出工件 轮廓信息并以曲线图显示出来，通过软件提供的分析工具可对 轮廓及微观 轮廓进行各种粗糙度参数 ...
Chotest Technology Inc.
... 1.表面 轮廓评价。可以评价半径、角度、距离、坐标、圆、圆形截面，并确定各点、各相交点、坐标轴、直线、垂直线、圆、圆形截面，分析 轮廓的直线度、圆度。 更多的功能。 (1)建立回归线和圆 (2)建立点、相交点、自由点、中心点、最高点和最低点 (3)建立坐标系 (4)计算半径、距离、角度、坐标和线性偏差 (5)比较实际值和名义值 (6) 测量程序自动运行 2.SJ5701可以评估表面 粗糙度。Ra, ...
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... SJ5780-200 双向扫描 轮廓 测量仪是一款大范围、高精度的主动扫描式综合 轮廓 测量仪。该仪器 X 轴、Z 轴采用独立运动系统，利用先进的双轴联动运动控制算法，可实现 X、Z 双轴联动扫描， 测量测针在工件表面做仿形扫描（主动扫描），既保持了恒定的 测量力，又保证了大量陡坡通过的能力，工件找平操作简单，同时避免了崩针、挂销等问题。它可以在很宽的满量程范围内连续扫描，并具有数百毫米的连续爬坡能力，非常适合 测量各种陡坡，大型工件无需翻转或倾斜调整即可轻松 测量。 ...
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... SJ5780-300 双向扫描 轮廓 测量仪是一款大范围、高精度的主动扫描式综合 轮廓 测量仪。该仪器 X 轴、Z 轴采用独立运动系统，利用先进的双轴联动运动控制算法，可实现 X、Z 双轴联动扫描， 测量测针在工件表面做仿形扫描（主动扫描），既保持了恒定的 测量力，又保证了大量陡坡工件通过时的调平能力，操作简单，同时避免了崩针、挂销等问题。它可以在很宽的满量程范围内连续扫描，并具有数百毫米的连续爬坡能力，非常适合 测量各种陡坡，大型工件无需翻转或倾斜调整即可轻松 测量。 ...
Chotest Technology Inc.
... SJ5780-400 双向扫描 轮廓 测量仪是一款大范围、高精度的主动扫描式综合 轮廓 测量仪。该仪器 X 轴、Z 轴采用独立运动系统，利用先进的双轴联动运动控制算法，可实现 X、Z 双轴联动扫描， 测量测针在工件表面做仿形扫描（主动扫描），既保持了恒定的 测量力，又保证了大量陡坡工件通过时的调平能力，操作简单，同时避免了崩针、挂销等问题。它可以在很宽的满量程范围内连续扫描，并具有数百毫米的连续爬坡能力，非常适合 测量各种陡坡，大型工件无需翻转或倾斜调整即可轻松 测量。 ...
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... 自动获取图案化形貌区域的三维信息（高度、宽度、面积、体积、 粗糙度、倾角等），同时具有自动统计分析功能。 4）具备各种类型样品表面微观形貌的3D 轮廓重建与 测量功能； 5）具备表面 粗糙度和微观 轮廓的检测功能， 粗糙度范围涵盖0.1nm到数十微米的级别； 6）具备校平、去除形状、去噪、滤波等数据处理功能； 7）具备 粗糙度分析、 轮廓分析、结构分析、功能分析等表面参数分析功能； 8）具备自动对焦、自动 测量、自动多区域 测量、自动拼接 测量等自动化功能； 9）具备一键分析、多文件分析等快速 ...
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... 自动获取图案化形貌区域的三维信息（高度、宽度、面积、体积、 粗糙度、倾角等），同时具有自动统计分析功能。 4.一体化操作的 测量与分析软件，操作无须进行切换界面，预先设置好配置参数再进行 测量，软件自动统计 测量数据并提供数据报表导出功能，即可快速实现批量 测量功能。 5. 测量中提供自动多区域 测量功能、批量 测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。 6. 测量中提供拼接 测量功能。 7.分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能，其中调整位置包括图像校平、镜像等功能；纠正包括空间滤波 ...
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测量范围: 1 mm
... 混合三维光学 轮廓仪 Superview WT 系列用于对各种精密部件和材料的表面进行亚纳米级 测量。它集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度三维 测量仪器的性能特点，可对样品表面进行非接触式扫描，然后重新建立三维表面图像。在 测量超光滑透明表面时，可使用白光干涉仪模式获得高精度、无畸变的图像，并分析 粗糙度等参数。在 测量具有锐角特征的 粗糙表面时，共聚焦显微镜模式可重建大角度三维形貌图像，并通过软件对表面三维图像进行数据处理和分析，获得反映表面质量的二维和三维参数。 ...
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... 可测各类从超光滑到 粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的 粗糙度、平整度、微观几何 轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。 二、产品功能 1）样件 测量能力：满足从超光滑到 粗糙、镜面到全透明或黑色材质等所有类型样件表面的 测量； ...
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... 触针纳米
轮廓仪 NS200 是用于表面
粗糙度、显微
轮廓、微纳米台阶高度和薄膜厚度的接触式
测量仪器。其采用亚埃级位移传感器、超低噪声信号采集、精细运动控制及先进校准算法，实现极小接触力，并适用于不同表面反射、材料与硬度等级——适合半导体、LED、太阳能、MEMS、触摸屏、汽车及医疗设备检测。
应用
- 半导体
- 沉积薄膜的台阶高度
- 薄膜光刻胶的台阶高度
- 刻蚀速率测量
- 化学机械抛光（腐蚀、点蚀、弯曲
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