光学轮廓测量仪 WT3000

3D共焦表面糙度测定

混合三维光学轮廓仪 Superview WT 系列用于对各种精密部件和材料的表面进行亚纳米级测量。它集成了白光干涉仪和共聚焦显微镜两种高精度三维测量仪器的性能特点，可对样品表面进行非接触式扫描，然后重新建立三维表面图像。在测量超光滑透明表面时，可使用白光干涉仪模式获得高精度、无畸变的图像，并分析粗糙度等参数。在测量具有锐角特征的粗糙表面时，共聚焦显微镜模式可重建大角度三维形貌图像，并通过软件对表面三维图像进行数据处理和分析，获得反映表面质量的二维和三维参数。