Bühler/德国BUHLER真空镀膜机

... 概述
LEYBOLD OPTICS DLC 600 是一款精密 真空 镀膜设备，采用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺，在光学和热成像组件上沉积类金刚石碳（DLC）膜。该设备旨在为锗（Ge）和硅（Si）基材提供硬且均匀、具有环境耐受性的DLC层，优化用于红外（IR）减反射和表面保护涂层。

主要优点

• 基材兼容性强：采用重力固定，可处理各种形状与几何结构的基材，最大直径可达300

... OPTICS ECS 1350 是一款为大批量生产而设计的 真空 镀膜设备，适用于库存镜片和处方（Rx）镜片的减反（AR）与时尚镜面 镀膜。系统将 Bühler Leybold Optics 的关键部件与可配置模块结合，以支持24/7连续运行并实现具有竞争力的运营成本。

主要优点

• 拥有成本低：优化配置可降低投资与运行成本，同时保证镀膜一致性。
• 适合大批量生产：为库存和处方镜片的

... ：视光学镜片用 真空薄膜 镀膜机

... CCS 系列是面向眼用镜片的 真空薄膜 镀膜系统家族，体积紧凑，适用于减反膜、时尚膜和镜面膜等 镀膜工艺。根据型号与配置，系统在 8 小时内可处理约 50–200 副镜片，适合中小型 镀膜实验室使用。

主要优点

• 可扩展的模块化设计：可在较低初始投资的基础上部署，并随生产量与产品种类增长逐步升级。
• 适合中小批量生产：支持从宽带减反到镜面镀膜等多种工艺，典型产能为

... 概述
LEYBOLD OPTICS LTE series是一款用于纳米级结构化特征并与lift‑off工艺配套的长抛射 真空蒸镀系统。该系列特别针对半导体制造与研发设计，能实现近垂直的定向沉积，保证高均匀性的图形薄膜。

主要优势

• 优异的涂覆质量：在结构化晶圆上实现高精度涂覆，最小化阴影效应，适用于高级3D图形。
• 服务与专业支持：依托Leybold Optics / Bühler在薄膜技术方面的经验与全球服务网络。<

... 概述
SYRUSpro 系列为 Bühler Leybold Optics 研发的精密光学 真空 镀膜机，面向深紫外（DUV）、可见光（VIS）与红外（IR）波段的 24/7 批量光学滤波器生产。该系列提供可配置的工艺解决方案，以满足苛刻的 镀膜规格与高产能制造需求。

主要优点

• 适用于严苛应用：可满足 IR、DUV 及极端波长范围的严格规格要求。
• 匹配生产工艺：丰富的高质量关键部件选择，可按工艺要求进行精确配置