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... 任务 精确夹持和处理不能用机械方式固定的工件。应用的领域。 >测量技术 >医学技术 >电子工业 设计/结构 夹板的主体是由天然硬石-花岗岩或陶瓷材料制成。根据它的应用，夹持板配备了微孔和/或微细吸槽。部分面可以单独切换。 技术数据 >尺寸。直径320毫米，高50毫米 >夹持面的平面度。0,001毫米 >夹持面与下部接触面的平行度。0,001 应用范围 用于安全和高精度地夹持和处理不能用机械固定的薄壁工件和透明材料。适用于几乎所有的加工方法和材料。 加工方法。 >雕刻 >电火花加工 >涂层 >铣削 材料。 >玻璃 >金属 >石墨 >陶瓷 >钛合金 应用范围。 >计量学 >雕刻技术 >电子、半导体行业 >光学 ...
... 产品概述
在半导体、光学和高精度电子制造中，工件的稳定夹持与无损搬运至关重要。传统金属多孔真空吸盘在孔隙均匀性、表面洁净度及长期稳定性方面存在局限。新一代陶瓷‑金属复合微孔真空卡盘将高性能微孔陶瓷吸附层与金属法兰基座结合，兼顾功能性能与结构强度。
01 微孔陶瓷吸附面的关键作用
吸附面采用高纯度氧化铝（Al2O3）或碳化硅（SiC）微孔陶瓷，经过精密烧结形成均匀分布的微孔结构，具备：
- 真空压力均匀分布，避免局部应力集中
- 对晶圆、玻璃和薄膜基材提供稳定且不划伤的支撑
- 高表面洁净度，降低颗粒污染风险
02 ...
... 介绍: 多孔陶瓷是具有可控细孔网络的陶瓷材料。在需要分布式透气性、热稳定性和机械强度的工况中广泛应用。多孔陶瓷真空夹具通过真空吸附实现对工件的可靠、可重复抓取与定位。
性能特点:
- 比表面积大：增加有效吸附面积，提高真空抓取的一致性。
- 耐高温：高熔点适用于高温工艺环境。
- 耐腐蚀：在多种工艺介质中化学稳定性良好。
- 耐磨性：材料硬度高，在接触或滑动条件下寿命更长。
制造工艺: ...