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Nanomotion FBG系列测角仪平台可为平台上的支点轴提供倾斜驱动。该平台设计可将两个轴耦合至尖端，并围绕着同一个支点轴倾斜。该测角仪配置了一个在曲面上使用的光电编码器，可提供解析度为1角秒。
运行行程: 83, 63 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 240, 120, 1,000 nm
... SOM-12090长226毫米，宽176毫米，高30毫米，是SmarAct的第二大显微镜平台。该平台在X轴上的移动范围为83毫米，Y轴上为63毫米。它基于SmarAct的紧凑型SLC线性平台，具有纳米级的精度和最高的闭环可重复性。 与面包板兼容的底板和标准插入物的适配器确保了与普通制造商的兼容性。盖板和平台本身是高度可定制的。 机械性能 阻挡力[N] - ≥ 5.5 最大。正常力 [N] - 15 尺寸[mm] - 226 x 176 x 30 重量[g] - ...
运行行程: 123, 103 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 180, 360, 1,000 nm
... SOM-180150在X轴上有123毫米，Y轴上有103毫米，在所有SmarAct显微镜平台中提供最大的行程范围。基于紧凑的SLC线性平台，SOM-180150提供了纳米级的精度和最高的闭环重复精度。该平台的长度为286毫米，宽度为216毫米，高度为30毫米。该平台的重量为2500克。 通过标准插件的适配器和兼容面包板的底板，确保了与普通制造商的兼容性。盖板和平台本身都是高度可定制的。 机械性能 阻塞力[N] - ≥ 5.5 最大。正常力 [N] - 10 尺寸[mm] ...
运行行程: 51 mm
速度: 8 mm/s
重复精度: 80, 160, 1,000 nm
... SOM-8080是SmarAct最紧凑的显微镜平台，在X和Y轴上提供51毫米的移动范围。平台的尺寸是长和宽138 mm，高23 mm。像所有的SmarAct显微镜平台一样，SOM-8080是基于SmarAct的高精度SLC系列线性平台，因此具有最高的重复性和纳米分辨率。 显微镜平台的底板是与面包板兼容的。用于标准插入物的适配器确保了与常见制造商的兼容性。盖板以及平台本身都是高度可定制的。 机械性能 行程[mm] - 51 (X); 51 (Y) 阻塞力[N] ...
运行行程: 10 mm
速度: 5 mm/s
... - 真空：所有范围的HV / UHV / EUV，最高可达10-11毫巴 - 润滑液体可达10-8/干燥可达10-11mbar - 最大。烘烤温度。120°C - 孔径：80 x 80 mm 可选择配置。 - 带或不带测量系统 - 可选择带导螺杆驱动或润滑的滚珠螺杆驱动以获得更高的速度 - 可与旋转台（如DT155）结合，用于旋转应用 - 适应应用的材料选择和真空润滑 - 根据试验室的安装情况进行单独调整 - 设计用于洁净室ISO 14644-1（根据要求达到1级）。 - ...
运行行程: 100 µm - 600 µm
... QNP™系列压电纳米定位平台在紧凑、高刚度的封装中提供纳米级的性能。各种行程（100微米到600微米）和反馈选项使其成为从显微镜到光学校准等应用的理想解决方案。 设计特点 -行程范围从100μm到600μm可供选择 -设备寿命长 -高精度、无摩擦的挠性引导系统 -更高的定位分辨率和线性度，直接测量电容式传感器选项可达到0.007%。 -与其他QNP系列压电纳米定位器的安装兼容 -开环和真空版本 紧凑包装中的高质量 QNP压电平台由精密挠性体引导，通过有限元分析进行优化，以确保高刚度和长设备寿命。由此产生的设计提供了出色的刚度和谐振频率，实现了高的工艺产量和快速闭环响应。此外，集成的XY封装最大限度地减少了平台的堆叠高度和移动质量，从而实现了卓越的静态和动态多轴性能。 高分辨率和定位精度 所有的QNP压电平台都可以选择使用独特的电容式传感器设计进行闭环反馈，从而实现亚纳米级的分辨率和高线性度。电容式传感器直接测量定位小车的输出，实现了卓越的精度和可重复性。 ...
运行行程: max 16.0 µm
... 压电系统 Jena 的 PXY 系列是一个 XY 纳米定位级，用于将压电致动器分解成柔性铰链系统。 通过这些组件，该装置能够在具有纳米精度的动态条件下工作。 它配备了每轴约 700 微米的旅行范围。 此外，它还配备了集成的反馈控制，旨在实现长期稳定性和亚纳米精度。 该工具是特殊应用的理想选择，如光学、光纤定位、激光技术、二维扫描运动、自动化和遥导系统。 此外，它具有一种施工原理，可实现高分辨率应用，远远超出机械和机电定位系统的要求。 它很容易安装在所有类型的定位系统。 ...
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