气体分配系统

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气体分配系统
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VDM-Series

... VDM-系列: 基于 CEM 技术的蒸汽输送模块,如上所述,我们设计了一系列新的蒸汽输送模块。 这些紧凑型子系统集成了 CEM 系统的组件和更多! 除了气体和液体流量控制器以及温度控制蒸发器外,VDM-系列还具有集成电源,带显示器(1.8” TFT)和控制功能。 作为一种选择,该装置提供局部或远程跟踪加热温度控制。 紧凑的 “即插即用” 模块可在 100 ml/ 分钟范围内产生(饱和)蒸汽流量,最高可达 10 ln/min。 它可用于大气或真空过程,并且能够蒸发混合物甚至固体,溶解于溶剂中。 ...

气体分配系统
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ODS

ODS系列高浓度高纯度臭氧输送系统为要求最高的半导体应用而设计。这个高度可靠的臭氧输送系统适合需求不同流量的高浓度臭氧的应用中。该臭氧输送系统整合完全,操作简单,能够方便的与绝大多数半导体机台联动,插入即可使用。 该系统基于微处理器的控制器能够根据用户提供的设定值伺服控制臭氧输送。 该臭氧输送系统包括多通道臭氧泄露探测器和带排气系统的外壳。全部的气体管线都有双重保险​。 高纯度水冷臭氧发生器,可生产浓度高达350 g/Nm3​的臭氧 先进的高浓度监测仪 使用质量流量控制器监测和控制臭氧和进料气 ...

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Teledyne API
气体分配系统
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Mini ODS

Mini ODS是紧凑但完整的臭氧输送系统,能够为许多晶元处理应用提供浓度高达 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。该系统虽然使用紧凑型设计,却是一个完整的臭氧输送系统,包含:高浓度臭氧发生器、高浓度臭氧监测仪、基于微处理器的控制器和满足全部要求的调节器和气动装置。 Mini ODS能够拓展支持额外的独立流程臭氧发生器,这些流程可需求不同浓度和不同流量的臭氧。该仪器操作和维护简单,不需求消耗品或预防性维护。该系统也能与通常湿法工艺中需求的溶解臭氧监分析仪交互。为了更加安全,该系统也能与TAPI的多通道臭氧泄露探测仪和臭氧破坏器子系统联锁。​ - ...

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气体分配系统
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... 工业气体广泛用于各种制造工艺,需求因客户需求而异。 压力、体积和流量都是在您确定最合适和最具成本效益的气体供应模式时必须考虑的关键因素。 气体以各种形式从气瓶中供应,无论是高压气体,还是低压液体。 这些产品的气体数量有限,但很容易移动到需要的地方。 许多低温液化气体,可以在小型低温容器中供给,也可以装在能够容纳十几千升液态气体的大型罐体中。 现场供应系统 (ECOVAR) 是围绕标准化组件构建的,以确保最高的成本效益。 可提供用于氮气、氧气和氢气生产的解决方案。 ...

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GSDS-Series

气体源交付系统 用于 Veeco MBE 气体源精确控制 Veeco 的气体源传送系统 (GSDS) 提供对气体的精确控制、互锁和监测惰性气体、有害气体和/或可燃气体。Molly® ECS1 生长控制软件可轻松与现有系统实现集成 提供各种组合选项以符合各种需求及预算。所有组合均附带每条管路的手动气管切断阀、气体过滤净化器、质量流量控制器和气动控制运行排气阀。 对 Veeco MBE 气体源实现高效、安全的气体控制 便捷的操作和监测流程 三种模型配置以满足特定应用和预算