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... 薄膜量测系统 SpectraFilm™ F1薄膜测量系统可以为各种薄膜层提供高精度薄膜测量，从而在7nm一下的逻辑和领先内存设计节点上协助实现严格的工艺允许误差。高亮度光源驱动光谱椭偏仪技术，信号足以精确测量带隙并且可以比电子测试提早数周了解电性能。新的FoG™（光栅上的薄膜）算法可以在类似器件的光栅结构上实现薄膜测量，从而进一步提高测量值与器件的相关性。随着产量的提高，SpectraFilm F1能够支持产率提升，并且测量更多与先进设备制造技术相关的薄膜层。 主要应用 带隙监控，工程分析，在线工艺监控，设备监控，工艺设备匹配 相关产品 SpectraFilm ...
KLA Corporation
... 薄膜量测系统 Aleris® 薄膜量测系统可为32nm节点及以下节点提供可靠的、精确的薄膜厚度、折射率、应力以及成分测量。 利用宽带光谱椭偏仪（BBSE）技术，Aleris薄膜测量系统提供全面的薄膜厚度测量和量测解决方案，帮助晶圆厂对各种薄膜层进行鉴定和监控。 Aleris 8330 Aleris 8330薄膜量测系统是一种低成本的解决方案，用于包括金属间电介质、光阻、底部抗反射涂层、厚氧化物和氮化物以及后段层等非关键薄膜层。 Aleris 8350 Aleris 8350是一种高性能薄膜量测系统，可以满足关键薄膜层对厚度、折射率和应力测量所需的更严格的工艺差异。 ...
KLA Corporation
... 产品概述
Gasboard-9809 是一款用于 NH3 与 N2O 测量的发动机尾气排放分析系统，面向 Euro 7 等新规的排放监测需求。系统采用 TDLAS 技术对 NH3 实施精确检测，采用基于 QCL 的激光光谱技术对 N2O 进行超高灵敏度测量，在动态工况下实现快速响应、高灵敏度以及对背景气体干扰的较强抑制。系统具备独立的取样、预处理与数据分析单元，可与现有 Euro 6 排放分析系统并行部署，添加 NH3/N2O 测量能力而无需重构试验台。
主要特性
- 面向车辆认证相关的主要国际标准设计（包括
... 压力测量机/碳酸产品 激光光谱技术的创新在线应用 通过容器顶部空间的激光束分析能够提供与顶部空间中存在的压力相关的信息。 这种方法可以直接测量，不受封口和容器本身的生理变化的影响。 获得专利的计算算法可确保 100% 生产的精确可靠的结果。 特点 独立于封口类型和容器类型 没有颜色限制（需要 5% 的透明度） 非破坏性/非接触式检查 标准检查 泄漏检测 内压 ...