材料分析显微镜 ZEISS ORION NanoFab

数码摄像机式氦离子束

Orion NanoFab 是一款三合一的多波束离子显微镜，专为使用纳米 Atterning 和可视化引擎制造以下 10nm 纳米结构以及其他应用而设计。 它具有三种光束类型，用户可以在镓、氦和霓虹灯之间无缝切换。 镓 FIB 适用于去除物质样品中的质量物质。 另一方面，氦光束是制造以下 10 nm 结构的理想选择。 霓虹灯使用户能够以高效的速度形成纳米结构，并具有高吞吐量。 N@@ anoFab 具有 0.5 nm 的高成像分辨率，可使用同一仪器对样品进行高分辨率图像。