离子溅射源 MERKURION-35-PRO

类别 - MERKURION® pro 项目描述 - 离子获取器泵。 二极管泵元件样式 (正极性)，带 入口法兰DN40 CF和 标称抽速为39升/秒。 电气连接器10 kV SHV (与SAFECONN兼容) 在 电压+3000 ...+7000 V 交付条件。 真空部件已清洗（纯度为PC2）。 被抽下来。 烘烤（真空等级UHV 1）。 用夹层密封 烘烤温度（无磁铁） - 450 °C 烘烤温度（带磁铁） - 250 °C 文章编号 - 370442 连接类型 - CF 公称直径DN - 40 外径 - 70 mm 最小工作电压 - 3 kV DC 高电压连接 - 10 kV SHV (SAFECONN) 带加热器 - 没有 最大工作电压 - 7kV DC 对惰性气体稳定 - 没有 泵送元件 - 传统的二极管 纯度等级 - PCS 最小极限压力 - 1E-11 mbar 最大启动压力 - 1E-3 mbar 标称泵送速度 - 39升/秒