冷阴极真空计 G-TRAN SC1 series

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冷阴极计传感器单元 G-TRAN 系列 SC1 G-TRAN 系列 SC1 是磁控管式冷阴极真空计。 由于不使用线件，因此可确保更换仪器的寿命更长。 预计将进行维护。 易于维护，降低了拥有成本。传感器规格 当不需要压力显示时， 可以实现以下优点： 由于已消除了显示 屏而 降低了真空计成本。 维护大大简化了 灯 丝消除了暴露于大气压力下的损坏 控制输出信号 2 设定点输出 输出信号 压力读数为 0 至 10V Log 输出（非线性输出） 电源电压 由 DC24V 特殊操作 产品特点/其他应用 用于半导体、光学和电子零件制造的精密真空设备压力范围内的 过程控制工业设备如 炉子等低真空范围内的 过程控制真空压力范围内的过程控制 具有 多个工艺室的系统，如在线溅射和单 晶圆加工设备