皮拉尼真空计 SW1, ISG1

数字

大气皮拉尼量表组合 SW1 和 ISG1 这是一个范围广泛的皮拉尼量表，测量从大气压力到 5 × 10-2 帕（3.75 × 10-4 托尔，5 × 10-4 毫巴）白金线用于灯丝，因此，灯丝即使在大气压力下也能正常工作。 高压至 5 × 10-2 帕（3.75 × 10-4 托 尔，5 × 10-4 毫巴） 电源电压由 24VDC 或 100VAC 输入至 240VAC 输入抗 冲击设计是高度耐冲击 灯丝材料： 铂金（Pt）耐腐蚀铂作为灯丝材料 高 用于误差显示的可见性 LED 一键 调节大气调节和零点调节可采用 一键式 可维护性 传感器头可轻松更换 测量值输出信号 压力为 0 至 10V 对数输出 控制输出信号 3 设定点 输出 串行通信规范 RS485 通信 (ISG1) 显示单元 具有可视 LED 认证， 符合 CE 工艺控制， 适用于半导体、光学、光伏场、FPD、 电子零件制造等低真空范围的真空设备 真空 炉等工业设备在低真空范围内进行 工艺控制；具有 多个工艺室的真空系统在低压范围内进行工艺控制，如在线溅射、单晶圆 加工设备， 用于具有振动的泵单元（系统）。 在 制造过程中和/或沙克