润滑真空泵 PST series

单级

溅射离子泵是用于产生超真空和极高真空的泵之一。 该泵设计简单，无需移动部件，可产生磨损和振动。 这些特性使溅射离子泵成为加速器和分析设备的首选泵。 ULVAC 公司开发了 ACTER 系列溅射离子泵。 ACTER 泵采用优化的磁场和新的 ACTER 元件，在超真空和极高真空范围内大大改善泵浦特性，并提高其整体成本性能。 由于这些性能的提高，ACTER 泵已被应用于加速器、电子显微镜等科学领域。通过 符合 ISO 标准（CXII，AXII 系列）的测试圆顶 达到了 10-10 Pa 的极限压力。 惰性气体增强 泵模式 (AXII 型) 利用 专用加热器和屏蔽盖高效烘烤和减少磁场泄漏, 超高真空范围内 高抽吸速度延长免维护时间 超低和极限泵送特性 高真空 范围（放电保持 在超高真空范围）