干式真空泵 PRC series

单级水机械增压机式

机械增压泵中国系列 通过与干式真空泵、油回转真空泵或水封真空泵一起使用，机械增压泵可在 10kPa 至 0.1 Pa 的范围内提高泵的速度，其中粗加工泵的泵速度下降。 中国系列产品专为半导体和液晶显示工艺而设计，尤其需要清洁度。 可选择大气压力启动类型。 无油泵外壳无油， 即使在排出水蒸汽或溶剂蒸汽时，也能保持稳定的性能。 罐装马达 使用罐装马达可以避免 在大气与真空之间使用机械密封。 它可以在清洁 的环境中使用，无需担心油泄漏。 优异的耐腐蚀表面处理 阳极氧化涂层，表面硬度和 主要部件的耐腐蚀性，可以防止 泵内部的划痕和腐蚀。 可以选择非表面处理作为 选项。 较短排气型的大气压起动 型（选件：逆变器） 与 标准型相比，该型泵与 粗加工泵同时启动，可缩短泵送时间。