落地式电源 TruPlasma MF Series 7000 (G2)

AC/AC工业用途大功率

概述
TruPlasma MF 7000 (G2) 系列为中频（MF）溅射工艺提供完整的工艺控制，具有优异的电弧管理和点火特性。该系列作为大面积镀膜及高要求反应工艺（如双磁控溅射）的电源设计，峰值效率超过90%，运行效率高于80%，并结合高效冷却水管理以降低运行成本。

主要优势

• 优异的涂层质量与高沉积速率：即使在苛刻的反应工艺中亦能获得出色结果。
• 高能效：峰值效率 > 90%；典型运行效率 > 80%。
• 适应各种环境条件：在高冷却水温度、低压差等条件下仍能稳定运行。
• 全球适用：宽工作电压范围，免去区域性技术调整。

典型应用

• 大面积镀膜（例如建筑玻璃），要求稳定性与均匀性。
• 通过双磁控溅射为平板显示和触控面板涂覆超薄 AlxOx 层。
• 光伏电池生产：使用 MF 溅射均匀沉积透明导电氧化物（TCO）层。

客户收益 / 工艺控制

• 通过少量参数设置实现精确工艺控制，便于在电弧敏感性与产能间取得平衡。
• 优越的电弧管理：反应速度快、残余能量低，可防止电弧引起的靶材损伤；支持电压控制的过渡模式。
• 多种接口与 TruControl Power 软件便于配置与诊断。

选配项

• 用于高湿度环境的电控柜主动除湿装置（需冷却水控制）。
• 电控柜门可选大开角（180° 可选；标准 130°）。
• 接口：Profinet、Profibus、EtherCAT、模拟与数字 I/O，便于集成。
• 超快速电弧管理（UltraFastTreatment ≤ 1 mJ/kW 可选；标准 ≤ 10 mJ/kW）。UltraFastTreatment 需要安全等级 3。
• 助燃/点火功能以减少电弧形成和热应力；点火电压与上升时间可调。
• 频率范围扩展选项：针对最高 100 kW 的 MF 发电机，扩展为 20–70 kHz（标准 20–50 kHz）。

软件
TruControl Power：多语言、易用的运行、配置与诊断软件。

系统组件与配件

• 随附优化的 TRUMPF Hüttinger 中频动力电缆，以保证系统性能。
• 可选系统组件以便将 TruPlasma MF 7000 (G2) 与现场环境匹配。

下载
产品手册（PDF）可供下载。

技术参数

• 产品系列：TruPlasma MF 7000 (G2)
• 品牌：TRUMPF
• 峰值效率：> 90%
• 典型运行效率：> 80%
• 功率范围：MF 发电机可达 100 kW（视配置与选件而定）
• 标准频率范围：20–50 kHz；可选扩展范围：20–70 kHz（适用于高功率型号）
• UltraFastTreatment（可选）：≤ 1 mJ/kW；标准 ARC 处理：≤ 10 mJ/kW
• UltraFastTreatment 的安全要求：安全等级 3
• 点火/助燃：点火电压与上升时间可调
• 电控柜门：标准 130° 开启；可选 180°
• 冷却：高效冷却水管理；在高冷却水温和低压差条件下保持稳定运行
• 接口：Profinet、Profibus、EtherCAT、模拟与数字接口
• 软件：TruControl Power（多语言）用于运行、配置与诊断
• 典型应用：双磁控溅射、大面积镀膜、反应性工艺、显示与光伏薄膜涂层