光学显微镜 1100TN

测量3D台式

艰苦跋涉式样1100TN静电力显微镜(EFM)使能电压与好一个非常高空间分辨率的发行测量是充分超过典型的静电电压表的能力的比10μm。艰苦跋涉的EFM可能也测量横跨更大的表面的电压发行与一个扫描的探针显微镜比较，当经营在大气条件下。艰苦跋涉的EFM使用反馈电压对与因而防止形成弧光在探测器和表面之间的被测量的电压是相等的在测试下的探测器。 关键规格 电压范围：±1 kV 电压敏感性： 准确性：更好比0.5%全方位 更好比100 mV 增加步：1 µm，极小(探测器) 探测器技巧：5 µm x 5 µm 测量地区：5 mm x 5 mm 典型的应用包括 抗静电袋子的测量，Si薄酥饼 电子摄影材料检验 光致电压的材料评估 MEMS测试 特点和好处 能用于大气情况 空间分辨率比10 μm好 三个测量方式： - 静止 - 线外形 - 3D映射