三维成像有助于解释样品特征,使更多用户能够理解图像。平面二维图像通常很难识别凹痕、划痕和毛刺等特征。此外,测量平均粗糙度 (Ra) 和粗糙度高度 (Rz) 对于控制和了解生产过程至关重要。Phenom 3D 重建软件使您能够将 2D 观察结果转化为 3D 表示。与传统(间接)方法相比,使用 SEM 成像进行数据采集可以获得更高的分辨率。
三维成像
三维成像有助于解释样品特征,使更多用户能够理解图像。
粗糙度
Phenom 3D 重建软件是 Thermo Scientific Phenom ProSuite 软件的一部分。
该软件包含多个 Phenom 桌面 SEM 专用应用程序。
无平台倾斜
利用 "从阴影看形状 "技术,无需倾斜平台。
技术规格
分辨率
1024 x 1024 像素
输出
线条剖面图、CSV 文件、2D/3D 视图图像和 Word 报告
ProSuite 软件的一部分
支持网络存储
Phenom 集成系统
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