Thermo Scientific Inspect 3D 软件为断层图像系列(通过透射电子显微镜或扫描透射电子显微镜、TEM 或 STEM 获得)与能量色散 X 射线光谱(EDS)图的配准提供了用户友好型解决方案,可生成数据的三维重建。Inspect 3D 软件还提供基本的可视化功能。所有 Thermo Scientific TEM、STEM 和 EDS 层析成像软件均与 Inspects 3D 软件完全兼容。
Inspect 3D 软件首先根据图像交叉相关性进行粗略的 X-Y 对齐。对齐可通过自动微珠跟踪或斑块跟踪程序进一步完善。微珠跟踪在整个倾斜系列中跟踪试样上的多个圆形颗粒,校正每个图像的旋转和放大倍数变化。补丁跟踪在整个倾斜系列中跟踪图像的多个区域,然后将结果合并。
Inspect 3D 软件提供两种用于三维体积重建的经典算法:加权背投影 (WBP) 和同步迭代重建技术 (SIRT)。此外,Inspect 3D软件还通过同时处理 STEM 和 EDS 文件(称为 HAADF-EDS 双模态层析成像 (HEBT))提供简便的 EDS 层析成像重建,从而增强元素重建。
Inspect 3D 软件提供的迭代重建技术包括
- 共轭梯度最小二乘法 (CGLS)
- 期望最大化(EM),与 SIRT 重建相比,可显著减少伸长伪影
- 同步代数重建技术 (SART)
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