用于纳米级材料表征的无现场分析UHR SEM扫描电镜
- 所有类型材料在纳米尺度上的无损表征
- 是在低光束能量下对材料进行表征以获得最大的表面形貌特征的理想选择。
- 对光束敏感和非导电样品进行出色的成像
- 电子束的全自动设置--飞行中光束追踪™保证了最佳的成像条件。
- 由于采用了广域光学™设计,在样品放大倍率低至2倍的情况下,无需额外的光学导航摄像头,就能直观地对样品进行实时的SEM导航。
- 独特的束内多检测器设计,可进行角度和能量选择性的BSE检测。
- 直观的软件模块化平台,无论用户的技术水平如何,都能轻松操作。
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