高分辨率分析扫描电镜,用于亚微米级的常规材料表征、研究和质量控制应用。
TESCAN MIRA的第四代扫描电子显微镜(SEM)与FEG肖特基电子发射源相结合,在TESCAN的Essence™软件的单一窗口中,将SEM成像和实时元素成分分析结合在一起。这种组合大大简化了样品的形态学和元素数据的采集,使MIRA扫描电子显微镜成为质量控制、失效分析和研究实验室日常材料检测的高效分析解决方案。
- 分析平台采用完全集成的TESCAN Essence™ EDS,在一个Essence™软件窗口中有效地将SEM成像和元素成分分析结合在一起。
- 由于采用了TESCAN独特的无孔径光学设计和飞行光束追踪技术,可立即获得最佳的成像和分析条件。
- 由于采用了独特的宽视野光学设计,可以在低至2倍的放大倍数下轻松、精确地对样品进行SEM导航,不需要额外的光学导航相机。
- SingleVac™模式是观察充电和光束敏感样品的标准功能。
- 直观和模块化的Essence™软件,无论用户的经验水平如何,都能轻松操作。
- 当平台和样品处于运动状态时,Essence™ 3D碰撞模型保证了检测器的安全性。
- 可选配柱内SE和BSE检测器,包括光束减速技术,以提高低加速电压下的成像性能。
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