垂直循环式自动仓库

用于小盒用于无菌室高密度

概述
面向半导体生产的自动化高密度存储解决方案，旨在最大化垂直空间利用并与晶圆厂物料搬运系统集成。

主要特性

• 快速部署，具备自动物料层级学习与测试功能
• 高密度存储，最大化地面与垂直空间利用率
• 针对300mm晶圆厂工程设计
• 兼容ARV、OHT、OHS及人工流程
• 可与车间物料管理系统集成
• 洁净室合规：ISO14644-14、SEMI S2及ESD标准

Stocker — 应用介绍
用于半导体生产线的自动化存储和库存管理解决方案，支持在线缓存并实现晶圆与载具的安全处理。

适用范围

• 高密度存储与垂直空间的充分利用
• 快速节拍与响应式物料流
• 与车间物料管理系统集成
• 快速实施，具备自动层级学习与测试功能
• 兼容ARV/OHT/OHS/人工等自动化流程
• 符合Cleanroom ISO14644-14、SEMI S2及ESD标准

E-RACK/TT — 功能介绍

• 用于半导体在线存储，支持FOUP、CASSETTE、Magazine和Tray
• 可对接ARV，支持手动装卸
• 标准SEMI软件接口，模块化设计
• 符合Cleanroom ISO14644-14、SEMI S2及ESD标准

技术规格

• 应用：半导体生产的自动化物料存储与管理
• 支持载具：FOUP、CASSETTE、Magazine、Tray
• 兼容性：ARV/OHT/OHS及手动装卸
• 洁净室合规：ISO14644-14
• 标准：符合SEMI S2
• ESD防护：满足ESD标准
• 设计：模块化
• 实施：快速部署，具备自动层级学习/测试能力
• 目标晶圆尺寸：300mm
• 主要收益：高密度存储与垂直空间利用优化