质量流量调节器 MFC5000

用于气体DeviceNetProfiNet

MFC5000系列气体质量流量控制器符合相关应用领域的SEMI标准。该产品提供多种总线通信选项，包括DeviceNet、ProfiNet、EtherCat和IO-Link。这些接口也可根据要求进一步定制。 MFC5000 专为过程控制设计，动态范围达 100:1。其压力控制范围为 0.1 至 1 MPa（15 至 150 PSI），补偿温度范围为 0 至 50°C。 该设备还可在真空条件下工作。