质量流量调节器 MFC series

用于气体经济型紧凑型

概述
MFC 系列为非腐蚀性气体设计的质量流量控制器，覆盖多种流量范围和工业应用。标准接口包括模拟和 RS485 Modbus；部分系列可选 DeviceNet、ProfiNet、EtherNet、EtherCat、IO-Link 等工业总线接口。

MFC2000

• 通用气体质量流量控制器
• 满量程范围：50 mLn/min 至 200 Ln/min
• 接口：模拟与 RS485 Modbus；可选工业总线接口

MFC4000

• 用于非腐蚀性气体流量控制
• 满量程范围：50 mLn/min 至 1000 mLn/min
• 适用于仪器或便携设备的小型化机型
• 接口：模拟与 RS485 Modbus；可选总线接口

MFC5100M

• 满量程可达 100 Ln/min
• 集成触摸屏以实现基本操作与设置
• 提供 RS485 Modbus；其他通信选项可作为替代

MFC5000

• 符合 SEMI 标准，面向工艺控制应用
• 支持多种总线通信：DeviceNet、ProfiNet、EtherCat、IO-Link 等
• 100:1 动态范围；压力控制 0.1–1 MPa (15–150 PSI)
• 补偿温度范围：0–50°C；可在真空条件下工作

MFC1100

• 大流量气体控制：满量程 20–50 Ln/min
• 控制输出：模拟 (0–5 Vdc 或 4–20 mA) 与 RS485 Modbus，用于比例阀控制
• 100:1 动态范围；压力 0.1–0.8 MPa (15–117 PSI)；补偿温度 0–55°C
• 典型应用：麻醉气体数字供给、焊接气体

MFC1600

• 经济型铝合金外壳
• 用于非常低流量的非腐蚀性气体控制
• 接口：模拟与 RS485 Modbus
• 压力范围：0.1–0.8 MPa (15–120 PSI)；补偿温度 0–50°C
• 典型应用：薄膜沉积、医疗设备

规格 / 技术参数

• 产品系列：MFC（质量流量控制器），用于非腐蚀性气体
• 常见接口：模拟、RS485 Modbus；可选 DeviceNet、ProfiNet、EtherNet、EtherCat、IO-Link
• 流量范围：根据型号从 mLn/min 级别到 1000 mLn/min
• 动态范围：最高可达 100:1（视型号而定）
• 压力范围：例如 0.1–0.8 MPa 和 0.1–1 MPa（视型号而定）
• 温度补偿范围：例如 0–50°C 和 0–55°C（视型号而定）
• 外形：适用于仪器的小型化选项；经济型铝合金机壳
• 典型应用：工艺控制、仪器/便携设备、薄膜沉积、医疗设备、数字气体供给、焊接气体