量热计流量计 MF series

质量用于气体用于空气

产品类别 质量流量传感产品：质量流量计 MF3000 MF3000系列质量流量计专为通用气体计量、处理、监测和/或控制而设计。该系列产品采用增强型流量调节技术，安装灵活，且压降低，可提高能源效率。设计上便于更换机械连接器。 标准接头：2–200 SLPM型号配备BSPT 1/4"公头或一键式接头；500–1500型号配备BSPT 1/2"母头。也可提供其他定制接头。 MF4000 MF4000系列质量流量计专为工业气体的通用、精密监测和控制而设计，可应用于麻醉设备、内窥镜和等离子体癌症治疗系统等医疗设备。 该系列产品具有扩展的动态流量范围，工作压力等级高达 0.8 MPa（8 bar / 112 psi），温度补偿范围为 -10 至 +55 °C。 设计便于更换机械连接器；标准连接器为“一键式”或 BSPT 1/4"；也可提供其他定制连接器。 MF4700 (MF/FS4700) MF/FS4700系列采用专有的MEMS热量式质量流量传感技术，并配备智能控制电子元件。传感器表面经氮化硅陶瓷材料钝化处理，并涂有防水/防油纳米涂层，以提升性能和可靠性。流量计主体由铝合金或不锈钢制成，适用于大多数气体应用。 满量程低至10 sccm；动态流量范围更广；工作压力额定值高达1.0 MPa；温度范围为-10至+55 °C。 MF5000 MF5000系列采用专有的MEMS质量流量传感技术和创新的电子电路，可在极低压降下直接测量质量流量。提供更广泛的管径、量程和气体类型选择。 适用于工业气体工艺、控制、实验室以及危险区域（Ex ia IIC T4 Gb）的试验台。测量范围为0.15至800 SLPM。连接器可完全定制。 MF5100 MF5100 系列专为流量测量和控制应用设计，具有宽动态范围（200:1）和高精度（读数的 1.5%）。采用专有的 MEMS 质量流量传感技术，可自动识别已注册的气体，并可使用锂离子电池持续工作长达 5 年。 当前型号的测量范围最高可达 100 SLPM。连接器可定制。 MF5200 MF5200 系列采用 Thermal-D MEMS 热传感技术设计，结合了热量测量和扩散率传感技术。提供多种无线数据传输选项，适用于即插即用的物联网应用。 典型应用包括医院气体（空气、氧气、氮气、二氧化碳、氩气、一氧化二氮）及工业气体处理。除气体质量流量外，该系列产品还可提供气体压力和温度测量功能。 MF5600 MF5600系列专为需要可拆卸流量计头以实现远程数据读取的通用流量计量和控制应用而设计。流量计可直接测量质量流量，且压力损失极小。适用于医院供氧管理、工业过程监测与计量，以及焊接气体设备和食品饮料加工过程。 测量范围最高达 800 SLPM。连接器可定制。 MF5700 MF5700 系列专为通用流量计量和控制而设计，提供物联网（IoT）或有线数据传输选项，并支持电池供电。 采用专有的MEMS质量流量传感技术和智能电子电路，兼具高性价比与极低的压降。适用于便携式应用。最大测量范围为500 SLPM。机械连接器可完全定制。 MF5900 MF5900 系列采用专有的 MEMS Thermal-D 传感技术和创新的电子电路，在测量质量流量的同时，能在低流量下保持极高的灵敏度，从而无需气体传输数据即可对气体进行选择性测量。该系列型号支持用户可编程功能，适用于低流量天然气和工艺计量。 使用 2 英寸管道时，最大测量范围可达 5000 SLPM。连接器可定制。 特性/技术规格

• 测量类型：适用于各种工业和医用气体的直接质量流量测量。
• 传感器技术：MEMS 热量式质量流量传感；Thermal-D MEMS（热量法 + 扩散率法）；专有 MEMS 传感变体。
• 流量范围：例如满量程下限低至 10 sccm（MF4700）； 0.15–800 SLPM（MF5000）；最高 100 SLPM（MF5100）；最高 800 SLPM（MF5600）； 最高 500 SLPM（MF5700）；配合 2 英寸管道时最高 5000 SLPM（MF5900）。
• 动态范围与精度：以 MF5100 为例，动态范围为 200:1，读数精度为 1.5%。
• 额定压力：最高 1.0 MPa（MF4700）；最高 0.8 MPa / 8 bar / 112 psi（MF4000）。
• 温度范围示例：-10 至 +55 °C（MF4000、MF4700）。
• 材料与涂层：仪表主体可选铝合金或不锈钢（MF4700）； 传感器经氮化硅钝化处理，并带有防水/防油纳米涂层。
• 连接器：标准选项包括 BSPT 1/4 英寸公头、BSPT 1/2 英寸母头、One-touch；许多系列支持完全定制的机械连接器。
• 特殊功能：低压降设计、可拆卸表头以实现远程读数（MF5600）， 无线/物联网数据选项（MF5200）、电池供电（MF5100 续航时间长达约 5 年）、适用于危险区域（MF5000 符合 Ex ia IIC T4 Gb 认证）。