质量流量计 MF51 series

用于气体液体在线

MF5100 系列质量流量计专为大动态范围（200:1）和高精度（1.5% 读数）的流量计量和控制应用而设计。 读数精度高达 1.5%。采用 Siargo 专有的 采用 Siargo 专有的 MEMS 质量流量传感技术，该流量计可自动识别所登记的气体，并由锂离子电池供电，可长时间运行。现有型号可随时应用于多种气体过程控制和流量效率校准，以及需要移动电源的应用。 MF5100 可测量高达 100 SLPM 的流量。连接器可完全定制。 规格 流量范围 0~30 (MF5106) / 0~50 (MF5108) / 0~100 (MF5110) SLPM 初始流量 0.01 / 0.01 / 0.02 SLPM 精度 ±1.5 重复性 0.25 响应时间 250 毫秒 长期稳定性 2 年 输出* LCD / 数字：RS485 / 脉冲 额定压力 1.0 兆帕 爆破压力 1.5 兆帕 温度 -10 ~ 55 °C 湿度 <95（无结露） %RH 引脚输出 DB9 机械连接 NPT - M 3/8" 校准空气 @ 20°C，101.325 kPa 重量 < 1.0 千克 存储温度 -20 ~ 70 °C