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卷对卷型涂覆机
溅射
薄膜制造
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产品规格型号
技术参数
卷对卷型, 溅射
应用
薄膜制造
产品介绍
· 蒸发腔、溅射腔共存; · 蒸发腔:单面蒸发,可镀铝、锂等低温蒸发材料; · 溅射腔:6对旋转靶,可替换平面靶; · 后腔:可进行加热、冷却、气体处理、plasma处理等。
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