卷对卷型涂覆机

溅射

· 一步法双面镀膜，单面厚度30 nm~1000 nm ； · 实现3~50 m/min工艺走速、1650大宽幅； · 镀膜腔可拓展，实现多种工艺和高速镀膜； · 破空隔离：实现不破空快速换卷； · 镀膜过程自动控制，主辊冷却 PID 温控调节，计算机界面操作。