卷对卷型涂覆机

溅射自动

· 镀膜腔可拓展，实现多种工艺，高速沉积； · 采用等离子表面处理，有效提高膜层的结合力； · 多腔溅射工艺室，提高生产效率； · 配置多组隔离溅射腔，可以实现多种材料沉积； · 可定制幅宽300~1650 mm； · 实现在线光学检测，在线方阻检测； · 全自动卷绕控制系统，纠偏系统。