DC/DC电源 ECD

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应用领域： 静电驱动材料处理、半导体晶片加工、平板或其他对机械处理敏感的加工材料的非机械传送。 威斯曼的 ECD 系列软件驱动静电吸盘电源具有多种功能，可满足各种苛刻的应用要求。该仪器采用了威斯曼放大器技术，其效率和吞吐量是其他电源的三倍之多。减少背面气体误差、提高产量并消除晶片粘连/爆裂问题；控制过流、晶片存在和晶片夹钳阈值、夹钳电压、偏移电压以及内部或外部振幅/偏移控制等参数；在调整过程中实现多功能振幅/偏移和输出控制；使用后面板 I/O、串行计算机命令或前面板控制来控制输出；配置自定义夹钳和去夹钳序列及波形。威斯曼 ECD 功能多样，性能可靠，可用于各种独特的工具和工艺，而无需为设备中的每种独特工具或工艺增加新的成本。 特点 可锁定的前面板控制界面。 每台设备都配有可溯源的校准证书。 支持库仑和约翰森-拉贝克电调技术。 静电卡盘配置文件通过用户友好的软件界面上载并存储到设备和内部存储。 晶圆检测，包括无晶圆、有晶圆或晶圆夹持状态。 特性描述 电压显示： 比例：1V/ 300 V B 相直流：精度优于满刻度的 0.5%