典型应用
静电驱动材料处理、半导体晶片加工、平板或其他对机械处理敏感的加工材料的非机械传送
ECA 系列是用于静电卡盘(E-Chuck、ESC)的高压放大器。除极性切换和强制接地外,该系列还提供晶片监控系统,以满足晶片检测需求。此外,该系列具有宽电压范围,支持库仑和约翰森-拉贝克静电卡盘。
特点和优点
通过晶片传感器进行可靠的夹持/释放状态检测
放大器结构设计响应速度快("无继电器极性反转 "设计,可靠性高,使用寿命长。)
"双通道独立控制(选件)"和 "中心抽头电压设置(选件)",可进行各种夹持/释放操作
配备 LAN、USB 和 RS-232C 数字接口
内置低通 RF 滤波器(13.56 MHz)
可选 CT
中心抽头偏置
0 至 ±[最大速率电压 - 电压设置点]
可选 ET
以太网 CAT 接口
可选 DS
双通道独立控制
可选 AC
AC 100V 至 240V 1 φ 输入
可选 L7
输出高压电缆 7m x 3
(选择 CT 或 DS 时为 2)
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