泽斯纯净的气体钯氢净化器生产在行星的最纯净的氢。给予专利的微通道设计在20多年提供在氢气洗净的最重大的创新。先进的氢净化器提供与更加便宜和被改进的耐久性的更高的流通能力大容积制造过程的。泽斯纯净的气体氢净化器提供9N's (99.9999999%)与典型的水平的纯净。
PS7-PD1在各种各样的流程的紧凑封入物包括一个钯细胞唯一处理工具的点用途洗净或大块供气的为许多处理工具在大LED和半导体fabs。一个唯一钯细胞净化器整个入口氢流程。封入物适用与设施在处理工具附近或在一间大块气体屋子。
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