能源应用退火 DOA-420

大批量生产

管式扩散氧化退火炉 主要用于晶体硅太阳能电池制造中硅片的掺杂形成PN结。 石英舟及硅片准备→插片→上料→选择工艺运行→进舟→抽真空→升温稳定→通氧→通源→推进→恒温→出舟→下舟冷却→测试→卸片 1、低压扩散、氧化、退火功能。 2、高方阻技术解决方案。 3、配套相关专利技术，可适用于硼扩散工艺。 4、独特双嵌套炉门结构。 5、专利技术尾气处理系统。 6、高速平稳整体模组推舟机构。 7、高精度源压稳定技术。 8、智能化全自动控制。 9、自主知识产权MES软件。 10、全面的防超温、断偶、撞舟等安全报警保护功能。 11、匹配S.C智能化生产管理系统。