化学抛光机 SC-LSP4500

链式酸抛光清洗设备 对单、多晶硅片进行刻蚀/抛光、清洗、干燥。 正面保护→刻蚀/抛光→碱洗→酸洗→烘干 1. 高产能：5道，4500片/小时，10道，8000片/小时。 2. 高均匀性，超长药液寿命。 3. 支持多种添加剂或混合添加剂技术。 4. 支持最薄120μm硅片。 5. 快速换液，在线换液。 6. ⽀持背面抛光工艺，超低药耗。 7. ⽀持MES，选配在线称重检测。 8. 兼容酸抛光功能。