压电纳米定位台 NanoX® Series

线性单轴双轴

传统的压电纳米定位系统使用单叠式致动器（压电致动器）进行轴运动。 该陶瓷堆叠安装在坚固的柔性关节之间，以转换堆叠产生的力。 如果这些力高于内部预载荷，则存在损坏堆叠式执行器（压电堆栈）的风险。 由压电系统 jena 设计的 Nanox® 智能地解决了这个问题： 沿一个轴的运动是通过使用两个堆叠来实现的。 当一个压电致动器朝某个方向移动，另一个则朝相反方向移动，回到原来的位置。 结果是整个纳米硅化剂（压电级）的刚度更高。 这样设计的纳米定位系统可以承受更高的力，堆叠不太可能破裂。 压电系统耶纳提供多种采用 NanOx® 构造方法的阶段。 有 X 和 XY 纳米定位系统，其刚度高达 1.1 n/µm，运动范围高达 900 µm。 Nanox® 级是高速激光扫描、振动控制、主动阻尼和其他需要高动态运动的应用的理想选择。