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原子力显微镜 NX-Mask用于修复光罩毫微秒示波器自动
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产品规格型号
- 分类
- 原子力
- 专业应用类型
- 用于修复光罩
- 观测技术
- 毫微秒示波器
- 其他特性
- 自动, 超高真空
产品介绍
Park NX-Mask是用于高端EUV掩膜修复的最有效、最安全、最高效的光掩膜修复系统。它提供了一个多合一的解决方案--从自动缺陷审查到修复和验证--以前所未有的修复效果加速了产量。
主要特点
无损坏风险，可无缝修复任何类型的缺陷
✔与处理EUV掩模的双舱兼容
✔定位缺陷和修复后验证的一体式解决方案
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